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                      真空測量計

                      前級真空

                      絕對壓力

                      泵抽真空檢測

                      UHV測量

                      管道壓力監測

                      寬壓力量程測量


                      真空泵

                      油旋片泵

                      無油渦旋泵

                      螺桿真空泵

                      渦輪分子泵

                      磁懸浮分子泵

                      泵組(排氣臺)


                      氣體流量控制

                      MFM

                      MFC

                      3000L/min質量流量控制器

                      2mL/min質量流量控制器

                      多種氣體混合

                      加熱型氣體流量控制器


                      薄膜沉積

                      膜厚儀

                      晶振片

                      探頭潰入裝置

                      濺射探頭

                      6晶振片旋轉探頭

                      多通道薄膜沉積監控


                      殘余氣體分析

                      RGA

                      真空本底分析

                      真空質量監測

                      工藝過程監控

                      氣體混合檢測

                      腔體泄露檢查




                      真空檢漏

                      氦質譜檢漏

                      鹵素檢漏

                      真空腔體漏點檢測

                      管道泄露檢查

                      壓力容器泄露檢查

                      SEMI檢漏應用


                      閥門

                      真空閥門

                      擺閥、閘閥

                      真空角閥

                      排氣節流閥

                      氣體管路閥門

                      隔膜閥


                      鍍膜耗材

                      蒸鍍材料

                      靶材

                      蒸發舟

                      鎢舟

                      高純度材料

                      耐火坩堝


                      測試設備

                      高低溫循環沖擊系統

                      老化測試

                      測試設備配件




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