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                      低壓式大流量質量流量控制器

                      CAF-150質量流量控制器,體積緊湊,可以低壓下控制大流量,產品同時支持傳統模擬量和RS485數字信號,滿足大部分氣體控制的通用需求。

                      特點

                      體積緊湊,便于安裝

                      可以低壓下控制大流量,流量范圍從100L/min到3000L/min

                      直洞式設計,響應速度更快

                      自帶過濾器適用于潔凈制程

                      比例活塞閥及薄膜閥,耐久性強

                      技術規格

                      型號CAF-145CAF-150CAF-155
                      流量范圍(N2基準)100slm~500slm500slm~2000slm2000slm~3000slm
                      流量控制范圍
                      2 ~ 100%滿量程
                      精度≤±2%滿量程≤±2.5%滿量程
                      響應速度≤1.2秒≤1.8秒
                      重復性
                      ≤0.2%滿量程
                      閥門類型常閉閥
                      密封種類Vtion,Vtion-ETP,Kalrez等等
                      電氣連接及信號9針D-Sub公頭
                      模擬:0-5VDC或4-20mA
                      數字:RS485
                      電源+15VDC~+24VDC
                      操作溫度操作溫度:5-50℃(推薦15~35℃)
                      預熱時間15分鐘(準確度保證:30分鐘)
                      法蘭連接1/8"~1/2"LOK或VCR(根據型號)
                      重量7Kg10Kg14Kg

                      產品尺寸


                      質量流量控制器訂購參數確認單


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