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                      成都四洋科技有限公司官方網站

                      高精度電容薄膜真空計

                      INFICON CDG025D電容膜片真空計是高精度溫度補償型真空計設計用于在嚴酷的制造工具環境中具有穩定的性能. 先進的數字電子學提高真空計的性能和提供容易操作的特點如一鍵調零的功能和設點調整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供卓越的零點穩定性, 以及引起能達到數百萬次壓力循環包括大氣沖擊的長的使用壽命.獨特的傳感器屏蔽保護真空計防止過程污染. 經久耐用的機械結構和數字電子學提高EMC兼容性, 長期穩定性和溫度補償能力。

                      特點

                      滿量程范圍從0.1乇至1000乇

                      通電后快速穩定性

                      暴露大氣壓的快速恢復性

                      抗腐蝕的陶瓷傳感器

                      優秀的長期信號穩定性

                      溫度補償

                      傳感器有防污染保護

                      一鍵調零功能

                      寬范圍電源

                      兩個設點 (可選)

                      RS232 接口 (可選)

                      應用

                      半導體制造設備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD

                      數據存儲和OLED,LCD制造設備

                      工業真空設備

                      混氣實驗設備

                      一般高精度壓力測量

                      技術規格(基于Torr的標準產品)

                      滿量程范圍(Torr)
                      1000
                      1001010.1
                      精度
                      ( 在25°C環境工作溫度下運行兩小時后無非線性,滯后性,再現性的溫度效應)
                      0.2%讀數0.5%讀數
                      溫度效應
                      在零點
                      在滿量程

                      0.005%滿量程/℃
                      0.01%讀數/℃

                      0.015%滿量程/℃
                      0.01%讀數/℃

                      0.02%滿量程/℃
                      0.02讀數/℃
                      分辨率0.003%滿量程
                      最大壓強(絕對壓力)400Kpa260Kpa130Kpa
                      響應時間30ms130ms
                      最低壓強讀值0.01%滿量程
                      最低建議壓強0.05%滿量程
                      最低建議控制
                      壓強(排氣節流閥聯控時)
                      0.5%滿量程
                      電源電壓
                      功率
                      +14至+30Vdc
                      ≤1 W
                      輸出信號0至+10V模擬量
                      電氣連接件
                      D-sub 15針
                      工作溫度
                      +5至+50℃
                      烘烤溫度≤110℃法蘭處(未運行)
                      安裝方位垂直
                      水平(要求)
                      防護等級IP30

                      1.其它滿量程請咨詢

                      2.設定點繼電器,RS232C僅CDG025D-S

                      訂購資料

                      CDG025D,溫度補償型


                      滿量程范圍1/2"英寸管DN 16 ISO-KFDN 16 CF-R
                      8VCR
                      1000Torr375-000375-001
                      375-002
                      375-003
                      100Torr376-000376-001
                      376-002
                      376-003
                      10Torr377-000377-001
                      377-002
                      377-003
                      1Torr378-000378-001
                      378-002
                      378-003
                      0.1Torrr379-000379-001
                      379-002
                      379-003

                      CDG025D-S,2個設定點,RS232接口,溫度補償型


                      滿量程范圍1/2"英寸管DN 16 ISO-KFDN 16 CF-R
                      8VCR
                      1000Torr
                      133KPa1333mbar375-300375-301
                      375-302
                      375-303

                      110Kpa
                      1100mbar375-500375-501
                      375-502
                      375-503
                      200Torr26.6Kpa267mbar382-300382-301
                      382-302
                      382-303
                      100Torr
                      13Kpa133mbar376-300376-301
                      376-302
                      376-303

                      10Kpa100mbar376-500
                      376-501
                      376-502
                      376-503
                      20Torr2.66Kpa26.7mbar383-300
                      383-301
                      383-302
                      383-303
                      10Torr
                      1.3Kpa13mbar377-300377-301
                      377-302
                      377-303

                      1Kpa10mbar377-500
                      377-501
                      377-502
                      377-503
                      1Torr
                      133Pa1.3mbar378-300378-301
                      378-302
                      378-303

                      100Pa1mbar378-500
                      378-501
                      378-502
                      378-503
                      0.25Torr33.3Pa0.33mbar385-300
                      385-301
                      385-302
                      385-303
                      0.1Torrr
                      13.3Pa0.13mbar379-300379-301
                      379-302
                      379-303

                      10Pa0.1mbar379-500
                      379-501
                      379-502
                      379-503
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