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                      成都四洋科技有限公司官方網站

                      干式真空泵

                      Osaka干式螺桿真空泵,完全無油運作,適用于大多數潔凈制程;體積小以及操作簡單。

                      特點

                      排氣速度:50L?min、230L?min、500L?min 3種產品

                      極限壓力:DSP50:20Pa、DSP250 ? 500:0.5Pa

                      潔凈排氣:沒有油蒸氣,粒子的逆流

                      無潤滑油:無同步齒輪,也不需要潤滑油

                      攜帶方便:小型,輕量,抗外部干擾

                      空冷規格

                      初期排氣時間短,大氣壓附近排氣速度快

                      低消費電力設計

                      應用

                      SEM,光刻

                      醫療設備

                      裝載室,搬送室排氣

                      分析儀器

                      加速器,離子源,電子槍的排氣

                      一般產業

                      PVD或R&D

                      技術規格

                      型號DSP50DSP250DSP500
                      排氣速度(L/min)50230500
                      氣鎮開啟36200430
                      極限壓力(Pa)通常200.5
                      氣鎮開啟時2002
                      法蘭連接進氣口KF16KF25KF40
                      排氣口RC1KF25
                      電源電壓(V)100-240100-230
                      頻率(Hz)50/60
                      相數單相
                      容許電壓精度±10%
                      功率(W)極限壓力時230240270
                      380600
                      冷卻方式空冷
                      重量(Kg)91520
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