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                      成都四洋科技有限公司官方網站

                      機械增壓泵

                      EH250

                      EH500

                      EH1200

                      EH2600

                      EH4200

                      Edwards EH 機械增壓泵采用獨特的液力驅動,可實現高效的動力傳送,在經濟性、性能和緊湊性方面擁有優勢。這些增壓泵適用于高壓力差的場合,這種高壓力差使增壓泵可以與前級泵同時啟動,從而減少總體抽氣時間。

                      EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎,仍是非常受歡迎的泵,可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

                      機械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下,因此高度可靠。

                      特點

                      適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3/h的高抽速的應用場合。

                      它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

                      EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供:

                      安靜的無振動運行。

                      牢靠且防腐蝕。

                      先進的軸封技術,處理艙中不會出現油污染

                      防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。

                      經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護要求降低。

                      軸封的設計經過優化,可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端面上堆積吸入的微粒。

                      動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助于實現泵的平穩、運行噪音小,而這些特點正是先進技術設備的制造商所需要的。

                      應用

                      半導體制程

                      真空蒸餾

                      真空包裝

                      鋼脫氣

                      薄膜覆層

                      真空冶金

                      低密度風洞

                      空間模擬

                      真空浸漬

                      油干燥和脫氣

                      制藥冷凍干燥

                      CO2 激光

                      技術規格

                      型號
                      EH250
                      EH500
                      EH1200
                      EH2600
                      EH4200
                      抽氣量m3/h
                      50Hz
                      310
                      505
                      1195
                      2590
                      4140
                      60Hz
                      375
                      605
                      1435
                      3110
                      4985
                      前級泵有效泵速m3/h
                      E2M40
                      240
                      350
                      840


                      E2M80
                      274
                      400
                      840


                      E2M175

                      440
                      930
                      1750

                      E2M275

                      460
                      1020
                      1900
                      3100
                      泵上的壓差mbar
                      50Hz
                      0-180
                      0-110
                      0-90
                      0-120
                      0-70
                      60Hz
                      0-150
                      0-90
                      0-75
                      0-67
                      0-50
                      進出口法蘭
                      ISO63/ISO40
                      ISO100/ISO63
                      ISO160/ISO100
                      ISO160/ISO100
                      ISO250/ISO100
                      轉速rpm
                      50Hz

                      0-2900

                      60Hz

                      0-3500

                      額定連續進口壓力

                      0-1000mbar

                      出口壓力

                      1000mbar

                      建議支持泵
                      GV80,
                      E2M40,
                      E2M80
                      GV80, E2M80
                      GXS160,
                      GXS250,
                      E2M80,
                      E2M175
                      GXS250,
                      GXS450,
                      E2M175,
                      E2M275
                      GXS450,
                      E2M275
                      電源電壓,3-ph

                      220-240V / 380-415V

                      電機功率Kw
                      碳氫油

                      2.2

                      3

                      11

                      PFPE
                      ATEX
                      防爆電機

                      3

                      4

                      15

                      溫度℃
                      工作溫度

                      5至40

                      環境存儲溫度

                      -10至80

                      濕度

                      90%RH

                      冷卻方式

                      空冷

                      水冷

                      建議用油
                      標準

                      Ultragrade 20

                      PFPE

                      Fomblin YVAC 16/6

                      油量L
                      齒輪箱


                      1.25

                      3.5

                      耦合面

                      1.5

                      2.4

                      6.5

                      軸封油層

                      0.125

                      1.5

                      重量Kg

                      69

                      106

                      149

                      345

                      481

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