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                      成都四洋科技有限公司官方網站

                      ELD500氦質譜檢漏儀

                      Edwards新型ELD500全自動氦質譜檢漏儀已經上市。是為在廣泛的應用中快速、準確地檢測泄漏而設計的,并且是完全可移動的;易于使用的控制界面。EdwardsELD500是您在泄漏檢測方面的明智選擇。

                      特點

                      性價比高

                      移動解決方案

                      可定制的任何應用程序

                      高穩定性和準確性

                      應用

                      分析儀器:電子顯微鏡、泄漏檢測、質譜、表面分析

                      半導體:負載鎖定、過程、計量、光刻技術、PVD、等離子體刻蝕、CVD、平板顯示器、LED

                      研究和開發:空間模擬、低溫研究、納米技術、涂層系統

                      工業:工業泄漏檢測、電子束焊接、燈管制造、玻璃涂料、剎車線和空調、制冷系統制造商、熱處理、電源、真空爐

                      高能物理:束線、加速器、融合、激光疏散

                      技術規格

                      類型

                      WET

                      DRY

                      FLEX

                      可檢測的氦泄漏率mbar.L/s

                      真空操作

                      ≤ 5 x 10-12

                      ≤ 3 x 10-11

                      ≤ 5 x 10-12(配泵)

                      吸槍操作

                      ≤ 7x10-9

                      最大可測氦泄漏率
                      mbar.L/s
                      (真空操作)

                      >0.1

                      檢測范圍

                      12個數量級

                      最大允許進口壓力

                      15mbar

                      泵送速度50hz / 60hz

                      2.5/3 m3/h

                      1.6/1.8 m3/h

                      N/A

                      在精細模式下的氦抽運速度

                      3.1L/s

                      泄漏率信號的時間常數

                      <1s

                      啟動時間

                      ≤2min

                      功率

                      420VA

                      350VA

                      200VA

                      入口法蘭

                      NW25

                      尺寸mm

                      495x456x314

                      重量

                      40Kg

                      35.5Kg

                      30Kg

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