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                      成都四洋科技有限公司官方網站

                      GMC1200流量/壓力控制器

                      GMC1200流量壓力控制器是給MFC(質量流量控制器)提供電源(±15VDC),流量顯示,穩定的電壓設置點(0 ~ 5VDC),使MFC能夠準確地成為控制的裝置。也可以用電容壓力計代替MFC對壓力進行顯示。(0 - 10 VDC壓力信號),如果你添加上游壓力控制板作為選擇選項,則可以另加壓力控制模式,在連接各通道的MFC中,任意選擇想要的通道,用氣體的量可以自動控制想要的壓力,同時壓力也可以顯示。

                      通過微處理器進行“控制”處理,而且還可以利用rs - 232接口進行“PC控制”操作。

                      特點

                      采用超高速微處理器。

                      使用(±電壓顯示)16位雙A / D控制

                      容易辨認的LCD顯示。

                      流量或壓力的單位,用戶可以直接設置。

                      2、4、6、8通道可選。

                      您可以通過連接電容壓力計測定壓力。

                      每個頻道的流量都可以控制。

                      總流量累計功能

                      使用MFC與電容壓力計,可選上游壓力控制

                      技術規格

                      尺寸
                      寬*長*高 241mm*88mm*200mm
                      電氣特性

                      輸入功率
                      195 ~ 265VAC @50/60 Hz 85VA 默認
                      98 ~ 135VAC @50/60 Hz 85VA可選
                      熔斷器額定值
                      250 VAC @3 A
                      輸出功率
                      +/-15VDC  ±5% @2.7A
                      工作溫度
                      0 ~ 50°c
                      輸入信號
                      0 ~ 5VDC for MFC
                      0 ~ 10VDC for 電容式壓力計
                      輸出信號
                      0 ~ 5VDC for MFC 指令
                      顯示窗口
                      128*64 LCD顯示器
                      顯示單位
                      sccm, slm表示MFC, Torr表示CM
                      接口
                      RS - 232、TTL接口
                      質量流量控制器

                      MFC是“質量流量控制器”的縮寫,氣瓶上出來的氣體,用戶有時所需的是一定流量的值。雖然每個制造廠商都有一些差距,但一般都采用SCCM(標準立方厘米/分鐘)。

                      特點

                      設計用于半導體制程和工業使用

                      滿量程流量從5sccm至200slm

                      1%滿量程的精度

                      可搭配GMC1200儀表顯示,也可用于APC200、GPC3000等儀表組成壓力控制系統

                      技術規格

                      流量范圍(滿量程)

                      AFC500/AFC600:5sccm至50slm

                      AFC770:51至200slm

                      進氣壓力高可達

                      150psig

                      正常工作壓差(與在大氣壓,MFC出口)

                      10至5000sccm

                      10000至20000sccm

                      AFC770


                      10至40 psid

                      15至40psid

                      40至70psid

                      精度(模擬量)

                      (包括760Torr和0℃下的非線性、滯后和非重復性)

                      ±1%滿量程

                      重復性

                      ±0.2%滿量程

                      分辨率

                      1%滿量程

                      溫度系數

                      零點

                      跨度

                      <0.05 % 滿量程./°C

                      <0.05 % 滿量程.

                      預熱時間(達到穩態性能的0.2%以內)

                      <2分鐘

                      控制器調節時間

                      <2sec

                      壓力系數

                      <0.02 % of Rdg./psi

                      工作溫度范圍

                      0-50℃

                      電源

                      ±15 VDC (±5%)

                      設定值命令信號

                      0-5Vdc

                      輸出信號

                      0-5Vdc

                      法蘭

                      VCR, LOK

                      接口

                      9針D-sub

                      材料

                      316L,密封Viton(AFC600:Kalrez)

                      外部泄漏完整性(scc/sec He)

                      通過關閉閥門

                      < 1×10(-9)

                      <1.0%的F.S.,在40 psig的大氣入口(為確保無流量通過,建議使用單獨的正壓切斷閥。)

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