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                      成都四洋科技有限公司官方網站

                      壓力控制系統

                      APC200與GPC3000壓流控制器基本上是為電容壓力計提供一個電源(±15VDC),與之相應的壓力信號連接顯示器,同時使用PID排氣節流閥節流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來的系統,其中,使用“Self-Tuning”功能,可根據流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數感知壓力控制系數。使用此功能作壓力控制時,可以更快地達到所需的壓力。內置2個過程限制繼電器,可幫助用戶集成在裝備中。

                      特點

                      至多可以連接4個MFC的PCB卡,每張PCB由2通道(2個MFC)組成。

                      標準的面板安裝,通訊方式I/O或RS-232遠程(RS-485選項),實現所有遠程控制都是可能的。

                      技術規格

                      閥門操作

                      ATV1000排氣節流閥,MKS型653和253排氣節流閥及其他

                      壓力輸入信號

                      標準0-10Vdc

                      輸入功率要求

                      90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz

                      設置點

                      可編程的

                      外部模擬

                      總共5個,可在任何組合中編程,用于壓力或閥位置

                      (可從前面板調節或從前面板旋轉RS232設定、TTL或RS232)

                      0-10VDC

                      控制器重復性

                      ±0.1% F.S

                      環境運行溫度

                      15℃ - 45℃

                      輸出功率

                      ±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp

                      模擬量輸出信號

                      0 - 10vdc用于0-100%閥門位置,0 - 10vdc用于1-100%滿量程壓力

                      尺寸

                      1/2機架安裝:88mm 寬 x 241mm 長 x 225 高

                      顯示

                      LCD(壓力、位置和外部設定點讀數)

                      顯示單位

                      Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 標準

                      PID控制

                      標準

                      遠程零點

                      標準

                      接口

                      前面板設置,模擬,TTL和RS232,(RS-485選項)

                      繼電器輸出

                      2個過程繼電器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 電阻

                      遠程控制

                      (打開、關閉、保持)

                      標準

                      位置控制能力

                      標準

                      ATV1000排氣節流閥

                      ATV1000是用來調節真空腔體壓力的,可以控制大范圍的壓力。ATV1000是設計與GPC3000兼容使用的。

                      ATV1000-B在閥內安裝了調節電導的板,和百葉窗形態一樣,與其他閥不同的排期節流閥,即使板是90度開啟,也不干涉腔體其他的部件,板可以自由動作。為了空間的一些適配管道與法蘭,都沒有必要安裝,整體上節省了真空裝備的體積和價格,并開發了大型尺寸的閥門。

                      特點

                      使用高速電機、大大縮短了位置點抵達的時間,提高設備的吞吐量而設計的。

                      ATV1000可以與GPC3000控制器連接使用,其他公司產品的控制器也可以連接使用(如MKS)

                      “節流閥”將擋板的位置在用戶外部也可以確認,即便閥的動作是否在裝備中脫離,可以確認。

                      “節流閥”法蘭通常使用ISO-NW,但根據顧客的要求,也可以提供CF,ASA,JIS等法蘭。

                      ATV1000-B優勢

                                                              ATV1000-B閥門式樣


                      技術規格

                      閥門速度(開閉)

                      1.5sec

                      分辨率

                      1/24000

                      驅動方式

                      PID單獨傳動

                      閥體工作溫度

                      標準:0-100℃

                      可選:0-150℃

                      閥工作環境溫度

                      -20℃至40℃

                      閥的壓差

                      1atm(15psi)

                      泄漏率

                      1x10-8sec/sec He

                      暴露在工藝中的材料

                      標準:304,Viton(密封材料可選)

                      可選:316,Viton(密封材料可選,具體聯系工程師)

                      兼容的控制器

                      GPC3000,MKS 651 or 1651

                      控制器輸出轉矩

                      800 in-oz

                      關閉-泄漏率

                      (帶有O型圈的閥門)

                      <10-7(Torr l/s)>

                      ACM200電容薄膜真空計

                      ACM200 電容薄膜壓力計,通常安裝在真空腔體或管道上,讀取實時壓力,±15VDC的電源和0 - 10VDC信號輸出的,廣泛用于半導體工程和真空工業設備。

                      特點

                      直接測量方式測量壓力

                      無關氣體組分影響

                      可應用于腐蝕性氣體環境,適合于各類制程應用

                      可搭配Atovac儀表,實時顯示

                      測量范圍從10E-4Torr至1000TOrr,覆蓋大多數制程壓力范圍

                      技術規格

                      壓力范圍(滿量程)

                      1、2、10、100、1000

                      壓力

                      0.01%滿量程

                      精度

                      ±0.25%讀數

                      可選:±0.15%讀數

                      溫度效應

                      零點

                      跨度


                      0.002% 滿量程/°C

                      0.02% 讀數/°C

                      工作環境溫度

                      0℃至50℃

                      暴露于氣體中的材料

                      鉻鎳鐵合金

                      泄漏率

                      1x10-8sec/sec He

                      壓力高可達

                      310Kpa

                      電源要求

                      ±15VDC (±5%) @ 35 mA

                      輸出信號

                      0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load

                      法蘭

                      8 VCR, NW16KF

                      質量流量控制器

                      MFC是“質量流量控制器”的縮寫,氣瓶上出來的氣體,用戶有時所需的是一定流量的值。雖然每個制造廠商都有一些差距,但一般都采用SCCM(標準立方厘米/分鐘)。

                      特點

                      設計用于半導體制程和工業使用

                      滿量程流量從5sccm至200slm

                      1%滿量程的精度

                      可搭配GMC1200儀表顯示,也可用于APC200、GPC3000等儀表組成壓力控制系統

                      技術規格

                      流量范圍(滿量程)

                      AFC500/AFC600:5sccm至50slm

                      AFC770:51至200slm

                      進氣壓力可達

                      150psig

                      正常工作壓差(與在大氣壓,MFC出口)

                      10至5000sccm

                      10000至20000sccm

                      AFC770


                      10至40 psid

                      15至40psid

                      40至70psid

                      精度(模擬量)

                      (包括760Torr和0℃下的非線性、滯后和非重復性)

                      ±1%滿量程

                      重復性

                      ±0.2%滿量程

                      分辨率

                      1%滿量程

                      溫度系數

                      零點

                      跨度

                      <0.05 % 滿量程./°C

                      <0.05 % 滿量程.

                      預熱時間(達到穩態性能的0.2%以內)

                      <2分鐘

                      控制器調節時間

                      <2sec

                      壓力系數

                      <0.02 % of Rdg./psi

                      工作溫度范圍

                      0-50℃

                      電源

                      ±15 VDC (±5%)

                      設定值命令信號

                      0-5Vdc

                      輸出信號

                      0-5Vdc

                      法蘭

                      VCR, LOK

                      接口

                      9針D-sub

                      材料

                      316L,密封Viton(AFC600:Kalrez)

                      外部泄漏完整性(scc/sec He)

                      通過關閉閥門

                      < 1×10(-9)

                      <1.0%的F.S.,在40 psig的大氣入口(為確保無流量通過,建議使用單獨的正壓切斷閥。)

                      壓強控制系統示意圖


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