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                      潘寧真空計

                      INFICON 潘寧真空計 PEG100 可以提供可靠的高真空測量。堅固耐用的潘寧冷陰極傳感器不會出現絲極燒毀的現象。由于采用鈦陰極板且等離子點火后高電壓將會降低,潘寧真空計還可在濺射應用環境下運行。現場總線選件以及對數模擬輸出信號允許使用 Profibus DP 或 DeviceNet 協議,將真空計輕松集成到真空系統中。

                      特點

                      測量范圍可達 1 X 10-9 - 1 X 10-2 mbar (7.5 X 10-10 - 7.5 X 10-3Torr)

                      全金屬冷陰極傳感器(潘寧)帶有陶瓷饋入裝置

                      新創的電極幾何形狀提供卓越的點火屬性

                      等離子點火后高壓降低以及采用鈦陰極板,降低了污染風險,即使是使用氬氣進行濺射操作期間

                      陽極環和鈦陰極可以輕松進行清潔或更換

                      降低真空計附近的磁場強度

                      LED 指示器用于顯示電源及等離子點火狀態

                      對數模擬輸出信號

                      現場總線接口(Profibus DB、DeviceNet)允許使用網絡通信將真空計輕松集成到真空系統中

                      應用

                      高真空壓力監控

                      蒸發鍍濺系統

                      高真空范圍內的一般真空測量和控制

                      技術規格

                      型號
                      PEG100
                      測量范圍
                      1 × 10E-9至10E-2 mabr
                      精度(N2)

                      ≈±30%讀數
                      重復性
                      ≈±5%讀數
                      輸出信號

                      0 至 +10.6VDC
                      電源電壓
                      功率
                      +14.5至+36Vdc
                      ≤2 W
                      電氣連接件
                      FCC 8腳
                      工作溫度
                      +10至+50℃
                      安裝方位任何
                      防護等級IP40

                      *總線通訊技術規格請咨詢客服

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