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                      成都四洋科技有限公司官方網站

                      PRA、WRA殘余氣體分析儀

                      Edwards  RGA包括兩種類型: PRA和WRA,都具有簡單和高效的操作性,確保高性能和效率。

                      Edwards PRA提供了高性能分析和遠程監控模式。PRA有四種分類可供選擇,以滿足您的過程需求,無論只是需要一個基本RGA還是更敏感/范圍更廣的RGA,PRA系列都是分析過程的基本選擇。

                      Edwards WRA 是RGA的頂級產品,具有市場領先的設計。有兩種型號1-200或1-300 amu,可以測量工藝流程的各種氣體以及產生的副產品。與PRA相比,具有更高的靈敏度,從而使測量更精確。

                      所有的RGA都配備了專用的,易于使用的軟件,從筆記本電腦就可實時跟蹤工藝過程,多達16個不同單位的詳細分析。RGA本體上有一個面板顯示,可以顯示主要氣體類型和系統的整體壓力,而不必通過筆記本電腦連接或遠程通訊讀取。

                      特點

                      總壓力測量

                      雙燈絲

                      面板單元顯示

                      易于更換零件

                      除氣功能

                      離子源和EM多重保護

                      應用

                      PRA

                      高真空抽真空設備的殘余氣體分析

                      研發過程中的氣體分析

                      冷凍干燥中的氣體分析

                      PV/FPD/Semi氣體分析

                      WRA

                      UHV設備的殘余氣體分析

                      有機材料分析

                      環境分析

                      氣體雜質

                      技術規格

                      型號

                      PRA100

                      PRA100S

                      PRA200

                      PRA200S

                      WRA200S

                      WRA300S

                      質量數范圍

                      1-100amu

                      1-200amu

                      1-300amu

                      質譜儀類型

                      QMS

                      探測器類型

                      FC

                      FC/EM

                      FC

                      FC/EM

                      FC/EM

                      FC/EM

                      靈敏度A/mbar

                      1x10-5

                      400/1x10-5

                      1x10-5

                      400/1x10-5

                      400/2.5x10-4

                      最小可測分壓(mbar)

                      1x10-10

                      1x10-14/1x10-10

                      1x10-10

                      1x10-14/1x10-10

                      1x10-15/1x10-11

                      最高工作壓力(mbar)

                      1x10-4

                      燈絲材質

                      Ir/Y2O3

                      工作溫度

                      40℃

                      最大分析溫度

                      120℃

                      250℃

                      最大烘烤溫度(移除電子)

                      250℃

                      300℃

                      連接法蘭

                      DN40CF

                      輸入電源

                      DC24V ±10% 50W

                      重量

                      2.6

                      2.84

                      2.6

                      2.84

                      3.21

                      3.21

                      防護等級

                      IP30

                      串口通信

                      RS232C/RS485

                      分辨率

                      M/DeltaM=1M(10%PH)

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