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                      成都四洋科技有限公司官方網站

                      殘余氣體分析儀

                      XT系列

                      Extorr是一家專業研究及生產殘余氣體分析儀(RGA)的公司,擁有XT系列殘余氣體分析儀,原理是四極質譜儀,RGA內置電阻規和離子計。是一種重要的測量設備,可用于任何真空系統。Extorr XT殘留氣體分析儀(RGA)有1-100amu,1-200amu和1-300amu質量數范圍。RGA配置一個標準的CF2.75英寸法蘭。每個功能都具有自動啟動和關閉,并將不斷監測從大氣壓至超高真空。內置的皮拉尼壓力計和離子壓力計不斷監測總壓力,并調節和保護RGA。這些功能被無縫地集成到Extorr VacuumPlus軟件包中。

                      特點

                      內置皮拉尼壓力計和離子壓力計的殘余氣體分析儀
                      1-100、1-200和1-300 amu質量數范圍可選
                      標準法拉第探測器(FC)與可選的電子倍增器(EM)
                      實時Windows軟件能夠進行多臺RGA同時操作
                      現場可更換兩根敷釷的銥絲
                      優于1 amu分辨率
                      8個數量級的動態范圍在一次掃描
                      質譜,泄漏檢測和壓力隨時間的變化
                      內建診斷,容易升級的軟件和固件
                      完全可插入的探頭

                      應用

                      泄漏測試

                      等離子體特性

                      基準壓力監測

                      表面科學

                      真空工藝監控

                      真空技術教育

                      真空爐監控

                      材料制造

                      電子顯微鏡

                      材料分析

                      RGA技術規格

                      質量數范圍
                      XT100
                      1-100 amu 法拉第杯 (FC)
                      XT200
                      1-200 amu 法拉第杯 (FC)
                      XT300
                      1-300 amu 法拉第杯 (FC)
                      XT100M
                      1-100 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM)
                      XT200M
                      1-200 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM)
                      XT300M
                      1-300 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM)
                      類型
                      四極質譜儀
                      探測器類型
                      標準:法拉第杯 (FC)
                      可選:電子倍增器 (EM)
                      分辨率
                      大于0.5 amu@10%峰值高度。可在整個質量范圍內調節至恒定的峰值寬度。
                      靈敏度(A/Torr)
                      5×10-4Torr(FC)。用戶可在整個高壓范圍內調節。用N2@28 amu測量,全峰寬1 amu,高度10%,電子能70 ev,離子能6 ev,電子發射電流2 mA。
                      可檢測分壓
                      5 × 10–11 Torr (FC)
                       5 × 10–14 Torr (EM)
                      工作范圍
                      RGA:≤10–4 Torr
                      皮拉尼計:10–3 Torr至大氣壓
                      離子計:≤10-2Torr
                      工作溫度
                      電路部分:50℃
                      探頭:100℃
                      烘烤溫度
                      300℃(僅探頭,移除電路部分)
                      總壓強測量
                      皮拉尼計:10-3 Torr 至大氣壓,
                      離子計:2 x 10-10 Torr至10-2 Torr
                      離子源
                      設計
                      開放離子源,電子撞擊電離
                      材質
                      SS304、Kovar、鎢、氧化鋁、銥、銅、鎳、氧化釷、白金
                      燈絲
                      雙釷涂層銥燈絲,帶固件保護。內置1到30W的電子脫氣裝置(可現場可更換)
                      電子能量
                      11至150V,可編程的
                      離子能量
                      1至12V,可編程的
                      聚焦電壓
                      0至150V,可編程的
                      發射電流
                      0.1至4 mA,可編程的
                      其他參數
                      探頭長度
                      172.72mm,從法蘭到頂端
                      法蘭
                      CF40(2.75”)
                      探頭管內徑
                      35mm
                      電路部分體積
                      84 x 122 x 188mm, 可拆卸
                      預熱時間
                      30分鐘質量穩定性±0.1 amu
                      計算機接口
                      RS-232C, 至高115,200波特率,或USB.
                      PC要求
                      PC運行Windows 2000, XP, 7,8或10系統,1024 x 768VGA圖形顯示器,鍵盤,鼠標,光盤驅動器,和一個未使用的USB或RS-232C端口。
                      軟件
                      隨機附帶VacuumPlus窗口軟件,基于應用程序需要Windows 2000,XP,7,8,10系統
                      電源
                      24 VDC @ 2.5 Amps,120/240 VAC電源適配器.
                      重量
                      2.27Kg(探頭及電路部分)
                      版權所有? 成都四洋科技有限公司官方網站    蜀ICP備14007155號    技術支持: 竹子建站
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