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                      成都四洋科技有限公司官方網站

                      薄膜沉積控制器

                      SQC-310 薄膜沉積控制器憑借先進的技術、增強的顯示和實惠的價格,INFICON SQC-310 系列提供同類薄膜控制器無法企及的優勢。您可以為自己的應用選擇理想的型號:連續沉積 (SQC-310) 或共沉積 (SQC-310C)。

                      特點

                      明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本

                      標準 RS-232 和 USB(可選 RS-232 和以太網)

                      設有 “Quick Setup”(快速設定)菜單、6 個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕,易于設定和操作

                      用于開發、測試和下載過程的 Windows程序,以及用于將儀器數據記錄到 PC 進行過程分析與質量控制的 Windows 程序

                      精確的過程控制,尤其適用于低沉積速率,測量速率為每秒 10 個讀數,測量分辨率為 ±0.03 Hz

                      存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料

                      使用單傳感器或多傳感器監控源材料,提供精確的源分布監控

                      技術規格

                      型號
                      SQC310SQC310C
                      QCM輸入2(可選4)4
                      測量頻率范圍可調:
                      1.0 MHz最低
                      6.5 MHz最高
                      頻率分辨率
                      0.25s測量間隔
                      ± 0.012Hz
                      厚度和速率分辨率/測量
                      工具/密度 = 100/1,基礎頻率 = 6赫茲,0.25秒測量間隔
                      ±0.015 ?
                      頻率穩定性± 2 ppm, 0至50℃
                      測量周期0.10至1s(可調)
                      速率顯示0.01 ?/sec
                      控制
                      存儲
                      輸出信號
                      數字輸入

                      100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
                      0至+10VDC
                      5VDC-非隔離
                      設定點繼電器8/8(16/16可選)16/16
                      電氣接口RS232標準(USB、以太網口可選)
                      電源電壓100-240VAC,25W
                      標準CE,RoHS

                      訂購資料



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