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                      成都四洋科技有限公司官方網站

                      渦輪分子泵

                      Osaka渦輪分子泵使用了脂潤滑陶瓷軸承,實現了小型、輕量、低成本。 耐外部震動,耐沖擊能力強,可以把分子泵搭載到可搬式設備或設備的可動部,拓展了渦輪分子泵的新應用。提供排氣速度50L/s ~ 2400L/s的產品。

                      特點

                      無油的超真空環境

                      機械式的氣體分子排氣(動態排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同

                      可排稀有氣體和腐蝕性氣體

                      可連續排大流量氣體

                      可工作的壓力范圍寬。(~10-10Pa)

                      應用

                      半導體制造

                      電子槍排氣,離子源排氣

                      FPD制造

                      表面處理,表面改質

                      各種電子部件的制造

                      分析,試驗裝置

                      管球制造,光學部件制造

                      加速器,放射線設施,核聚變研究

                      熱處理

                      研究開發

                      技術規格

                      型號

                      TG50F

                      TG60F

                      TG70F

                      TG220F

                      TG240F

                      TG350F

                      TG450F

                      TG800F

                      TG1100F

                      TG1400F

                      TG2400

                      法蘭

                      吸氣口ISO-R/CF

                      63

                      KF40/63

                      63

                      100

                      100

                      100

                      160

                      160

                      200

                      200

                      250

                      排氣口

                      KF16

                      KF16

                      KF16

                      KF25

                      KF25

                      KF25

                      KF25

                      KF40

                      KF40

                      KF40

                      KF40

                      排氣速度

                      N2(附加金屬過濾網)

                      49L/s

                      55L/s

                      65L/s

                      210L/s

                      240L/s

                      310L/s

                      430L/s

                      750L/s

                      1000L/s

                      1300L/s

                      2300L/s

                      H2

                      12L/s

                      22L/s

                      40L/s

                      100L/s

                      160L/s

                      210L/s

                      240L/s

                      650L/s

                      720L/s

                      750L/s

                      1100L/s

                      壓縮比

                      N2

                      1.4×107

                      2×107

                      1×108

                      1×108

                      1×108

                      1×108

                      1×108

                      1×108

                      1×108

                      1×108

                      1×108

                      H2

                      5×102

                      2×103

                      1×105

                      4×102

                      4×104

                      2×103

                      2×103

                      1×104

                      1×104

                      4.3×103

                      1.4×103

                      極限壓力

                      ISO-R/CF

                      <3×10-6Pa

                      <5×10-6Pa/<1×10-6Pa

                      <5×10-7Pa/<1×10-7Pa

                      <1×10-6Pa

                      <1×10-6Pa/<5×10-7Pa

                      <1×10-6Pa

                      <1×10-6Pa

                      <1×10-6Pa

                      <1×10-6Pa

                      <1×10-6Pa

                      <1×10-6Pa

                      可達氣體流量

                      N2(sccm)

                      80

                      20

                      20

                      400

                      70

                      500

                      500

                      330/860

                      330/860

                      450

                      900/1500

                      推薦輔助泵

                      ≥50L/min

                      ≥25L/min

                      ≥25L/min

                      ≥80L/min

                      ≥80L/min

                      ≥80L/min

                      ≥80L/min

                      ≥250L/min

                      ≥250L/min

                      ≥250L/min

                      ≥500L/min

                      容許輔助壓力

                      1330Pa

                      800Pa

                      1200Pa

                      260Pa

                      700Pa

                      260Pa

                      260Pa

                      330Pa

                      330Pa

                      330Pa

                      200Pa

                      重量Kg

                      ISO-R/CF

                      4.2/6

                      3.4/5.4

                      3/5

                      5.5/8

                      7.3/10.5

                      6/9

                      7/10

                      27/26

                      28/27

                      29/30

                      45/47

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