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                      成都四洋科技有限公司官方網站

                      磁懸浮復合分子泵

                      Osaka復合分子泵使用磁懸浮軸承實現無油的排氣,而且維護周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產品。

                      特點

                      全方位安裝
                      輕巧設計
                      節能
                      分子泵停止與啟動時間短
                      附帶維護警報機能
                      低振動
                      無需調整
                      自動校準
                      可控制轉子旋轉速度
                      大流量排氣
                      多種通信模式
                      符合安全規格 NRTL/SEMI-S2/CE

                      應用

                      半導體制造

                      電子槍排氣,離子源排氣

                      FPD制造

                      表面處理,表面改質

                      各種電子部件的制造

                      分析,試驗裝置

                      管球制造,光學部件制造

                      加速器,放射線設施,核聚變研究

                      熱處理

                      研究開發

                      技術規格

                      型號

                      TG390M

                      TG420M

                      TG900M

                      TG1300M

                      TG2400M

                      法蘭

                      吸氣口ISO-R/CF

                      100

                      160

                      160

                      200

                      250

                      排氣口

                      KF25

                      KF25

                      KF40

                      KF40

                      KF40

                      排氣速度

                      N2(附加金屬過濾網)

                      320L/s

                      370L/s

                      860L/s

                      1230L/s

                      2300L/s

                      H2

                      290L/s

                      300L/s

                      1050L/s

                      1200L/s

                      1100L/s

                      最大壓縮比

                      N2

                      1×108

                      1×108

                      1×108

                      1×108

                      1×108

                      H2

                      4.3×103

                      4.5×103

                      1.5×104

                      1.5×104

                      1.5×103

                      極限壓力

                      ISO-R/CF

                      <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

                      <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

                      <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

                      <1×10-6Pa/<1×10-7Pa

                      <1×10-6Pa

                      最大氣體流量

                      N2(sccm)

                      2000

                      2000

                      3000

                      3000

                      3000

                      推薦輔助泵

                      ≥160L/min

                      ≥160L/min

                      ≥250L/min

                      ≥250L/min

                      ≥500L/min

                      容許輔助壓力

                      400Pa

                      400Pa

                      500Pa

                      500Pa

                      200Pa

                      重量Kg

                      ISO-R/CF

                      14/17

                      14/17

                      34/42

                      34/42

                      45/54

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